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韩国公司在EUV光刻技术方面取得了长足进步

11月16日消息据上周韩国媒体报道,韩国当地公司在EUV光刻技术方面取得了长足进步。但是它没有提到这是哪家公司。可以合理地推测它应该涉及韩国的整个半导体光刻行业。 EUV光刻技术是多种先进技术的复合体,例如多层反射镜,多层掩模,保护膜,光源和注册表。在过去的十年中,包括三星电子在内的全球公司都进行了深入的研究和开发,以确保该技术处于领先地位。最近,代工公司(意为三星)已开始使用5纳米EUV光刻技术来生产智能手机的应用处理器(AP)。按公司划分,世界六大公司占专利申请总量的59%,卡尔蔡司(德国)占18%,三星电子(韩国)占15%,ASML(荷兰)占11 %,S& STech(韩国)占8%,TSMC(台湾)占6%,SK Hynix(韩国)占1%。从具体技术项目看,曝光设备技术的专利申请量占31%,光罩技术的申请量占28%,其他申请量占9%。在工艺技术领域,三星电子占39%,台积电占15%。在光掩模领域,S& S Technology占28%,Hoya(日本)占15%,汉阳大学(韩国)占10%,Asahi Glass(日本)占10%,三星电子占9%。据了解,韩国媒体还提到了韩国的专利数量。根据“最近十年(2011-2020)的专利申请报告”,由韩国知识产权局(KIPO)颁发的许可,在2019年,在韩国提交的专利申请数量为40件。外国公司超过10家。韩国媒体说,这是韩国首次提交比外国公司更多的专利申请。到2020年,韩国提出的专利申请数量将是外国公司的两倍以上。