根据6月1日的消息，荷兰ASML公司最近在其官方网站上宣布，它已经完成了针对5nm和更先进工艺的第一代HMI多光束检查机HMI eScan1000的测试。新的MBI系统包括一个电子光学系统，该系统可以创建和控制多个主电子束，然后收集和处理由此产生的副电子束，将电子束之间的串扰限制在2％以内，并提供一致的成像质量。它还具有一个高速平台，可提高系统的整体吞吐量；以及一个高速计算架构，可实时处理来自多个波束的数据流。据报道，HMI eScan1000可以同时产生和控制9条电子束。与单个电子束检查工具相比，吞吐量将提高600％。目前，第一个多光束检测系统已于本周交付给客户进行识别。此外，值得一提的是，ASML计划增加光束数量和光束分辨率，以满足下一代芯片制造商的产品路线图要求。